CT-W

Nasswäscher

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Der CT-W Nasswäscher ist unsere bewährte Lösung zur Behandlung von Abgasen aus verschiedenen CVD-, Ätz-, und EPI-Anwendungen. Im Gegensatz zu herkömmlichen Nasswäschern reduziert unser CT-W die Staubfracht im Abgasstrom um bis zu 99%. Die absorbierten Staubpartikel werden automatisch mit dem Abwasser abgepumpt.

Der CT-W Nasswäscher behandelt HCl, HF, SiH2Cl2, SiCl4 und NH3 sowie andere saure und alkalische Abgase wirksam und kosteneffizient. In der mit Füllkörpern ausgestatteten Waschsäule kommen Hochleistungs-Gegenstrom-Düsen zum Einsatz, die auch bei Anwendungen mit hohen Abgasströmen einen zuverlässigen Betrieb gewährleisten.

Insbesondere für Gase, die dazu neigen, im Laufe der Zeit die Abgaseingänge zu verblocken, wie beispielsweise WF6, BCl3, AlCl3 oder NH4Cl, sind eine mechanische Eingangsreinigung, eine N2 Venturi-Spülung und beheizte Abgaseingänge installiert. Diese drei entscheidenden Vorteile beugen zuverlässig dem Aufbau von festen Reaktionsprodukten vor und verringern den Wartungsaufwand und die Betriebskosten deutlich.

Highlights
- Abgasreinigungseffizienz (DRE) von bis zu 99,99%
- Effiziente Staubabscheidung in der Anlage
- Niedrige Betriebskosten durch minimalen Frischwasserverbrauch
- Verfügbare Betriebszeit > 99% sowie einfache und schnelle Wartung
- Qualität Made in Germany

Ausstattungsoptionen
- Betrieb sowohl mit saurem als auch mit alkalischem Neutralisationsmittel möglich
- Für hohe H2 Flüsse in ex-geschützter Ausführung verfügbar
- Benutzerspezifische Backup-Konfigurationen

Einsatzbereiche
- CVD-Prozesse
- Ätz-Prozesse
- EPI-Prozesse

Branchen
- Halbleiterindustrie
- LED-Industrie
- Photovoltaikindustrie
- Universitäten und Forschungseinrichtungen

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