CT-PW

Plasma-Wäscher

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Bei der CT-PW Baureihe handelt es sich um dezentrale Plasma-Wäscher-Systeme zur Abgasbehandlung von CVD- und Ätzprozessen, wie sie typischerweise in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie zum Einsatz kommen.

Die CT-PW Baureihe wird den hohen Anforderungen und internationalen Sicherheitsstandards der Branche gerecht. Prozessgase – insbesondere klimaschädliche PFC-Gase – sowie staub- und gasförmige Nebenprodukte werden mit hoher Reinigungseffizienz zuverlässig entsorgt. Die Plasmaquelle des CT-PW wird mit elektrischer Energie betrieben. Im Vergleich zu einem Brenner-Wäscher ist somit keine Brenngasversorgung notwendig.

Die separierten funktionalen Einheiten wie Plasmaquelle, Brennkammer, Nasswäscher, Abgaseingang und Kühlsystem erlauben eine flexible Anpassung an Ihre Anwendung. Die individuelle Anlagenkonfiguration ist der Schlüssel für lange Instandhaltungsintervalle und eine maximale Betriebszeit.

Highlights
- Sehr hohe Abgasreinigungseffizienz, insbesondere für klimaschädliche PFC-Gase
- Intelligente Steuerung für niedrige Betriebskosten
- Keine Brenngasversorgung zum Betrieb notwendig
- Lange Wartungsintervalle und hohe Uptime
- Umfangreiche Sicherheitsfeatures standardmäßig integriert
- Qualität Made in Germany

Ausstattungsoptionen
- Umfangreiche prozessspezifische Ausstattungsfeatures
- Benutzerspezifische Backup-Konfigurationen

Einsatzbereiche
- CVD-Prozesse
- Ätz-Prozesse

Branchen
- Photovoltaikindustrie
- Halbleiterindustrie
- LED-Industrie
- Universitäten und Forschungseinrichtungen

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