CT-PF

Partikelfilter

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Der CT-PF Partikelfilter ist eigens für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie konzipiert, um selbst kleinste Partikel aus dem Abluftstrom abzuscheiden, wie sie beispielsweise bei der thermischen Entsorgung von CVD-Prozessgasen anfallen.

Die staubhaltige Abluft wird gerichtet über die Filterelemente geführt. Die Staubpartikel, die sich auf der Filteroberfläche abscheiden, werden im laufenden Betrieb durch einen Druckluftimpuls abgereinigt. Die Filterelemente sind in mehrere Gruppen unterteilt, welche einzeln und vollautomatisch abgereinigt werden. So wird der Druckstoß bei der Abreinigung so gering wie möglich gehalten, was einen konstanten Luftdurchsatz gewährleistet. Ein integrierter FU-gesteuerter Ventilator kompensiert die Differenzdruckschwankungen der Filterelemente.

Die kontaminationsarme Entsorgung des Staubes kann im laufenden Betrieb erfolgen, da der Aufnahmebehälter mit einem Zwischenflansch vom Filter entkoppelt und mit einem Deckel verschlossen werden kann.

Highlights
- Abscheiderate von Staubpartikeln > 99,95 %
- Automatische Abreinigung der Filterelemente im laufenden Betrieb
- Sichere Entsorgung des Staubes auch während dem Betrieb der Anlage
- Einhaltung der TA-Luft Emissionsgrenzwerte für Feinstaub von 20 mg / Nm³
- Integrierter Radial-Ventilator mit frequenzgesteuertem Direktantrieb
- Qualität Made in Germany

Ausstattungsoptionen
- Staubwiegezellen

Einsatzbereiche
- Partikelbildende Prozesse
- Kombinierbar mit unseren Abgasreinigungssystemen CT-BW, CT-PW und CT-TW

Branchen
- Photovoltaikindustrie
- Halbleiterindustrie
- LED-Industrie
- Universitäten und Forschungseinrichtungen

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