CT-D

干式吸附废气处理系统

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CT-D干式吸附废气处理系统能够在半导体和光伏行业中安全、高效地处理有害气体。

CT-D是一套被动系统,它不需要特殊的厂务设施供给,仅要求电源和压缩空气或氮气。我们特别设计不同的尺寸具有专利的吸附桶,按照客户不同的要求填充药剂。针对各种不同的工艺气体,我们使用一种或多种不同药剂。药剂吸附有毒、腐蚀性、可燃废气及其副产物。药剂在常温下与废气进行不可逆的化学反应,有害废气转换成不挥发、无机的固体。

为了确保客户生产顺利,我们向全球客户提供完整吸附桶更换和药剂回收服务。

亮点

  • 对厂务要求低,药剂寿命长
  • 维护需求极低
  • 防止堵塞的冷井专利吸附桶设计
  • 针对各种工艺应用而特别设计的药剂
  • 药剂吸附为化学不可逆反应,所以有害气体不会再次从药剂中释放
  • 可安全、简易地更换吸附桶
  • 高质量德国制造

可选项

  • 提供不同尺寸的吸附桶

应用

  • 研发用途
  • 沉积工艺(比如MOCVD)
  • 原子层沉积(ALD)工艺
  • 蚀刻工艺
  • 离子注入工艺
  • 铜铟镓硒(CIGS)光伏电池工艺

行业

  • 半导体
  • 光伏
  • LED
  • 学府和研究机构

联系表格

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服务

  • 厂务和安装
  • 维护合同
  • 备件管理
  • 质量保证服务
  • 设备定期检查
  • 运行成本分析
  • FTIR测量
  • 培训

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