CT-W

水洗废气处理系统

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CT-W水洗废气处理系统能够处理多种沉积和蚀刻工艺所产生废气。相对于其他市面上的普通水洗废气处理系统,本系统采用特殊设计捕捉废气中高达99%的粉尘。捕捉下来的粉尘将随着废水一同排放。

CT-W水洗废气处理系统能够高效处理HCl、HF、SiH2Cl2、SiCl4、NH3以及其它酸性和碱性气体。该系统自动监控主生产设备的运行状态并最小化废气处理的运行成本。 CT-W具有四个独立的废气入口,每个入口均设有一个旁路。填满拉西环的水洗塔装有数个高性能逆流喷雾喷嘴,因此即便是在高废气流量的状态下,CT-W仍旧能够保持极高的处理效率。本系统可处理高达3000 slm的废气总量,并可连接到大气压或低压工艺腔。根据要处理的气体种类的不同,该系统可将碱性或酸性中和剂自动加入水箱。

CT-W可加装N2文丘里管、废气入口加热带、废气入口机械清洁活塞等特殊设计,能够有效降低废气入口阻塞的问题(特别适用于使用WF6、BCl3、AlCl3、NH4Cl的工艺),因而能够大幅降低您的维护频率和运行成本。

亮点

  • 高达99.99%的处理效率(DRE)
  • 可高效地捕捉粉尘
  • 清水用量少、运行成本低
  • 大于99%的运行时间,且维护简单、快速
  • 高质量德国制造

可选项

  • 额外的酸碱中和桶
  • 符合ATEX标准的防静电设计,适用于外延工艺
  • 定制的备份(Back-up)配置

应用

  • 沉积工艺
  • 蚀刻工艺
  • 外延工艺

行业

  • 半导体
  • LED
  • 光伏
  • 学府和研究机构

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