CT-BW

燃烧-水洗废气处理系统

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CT-BW是符合全球标准的一套高效系统,适合半导体、光伏和相关行业的沉积、蚀刻、外延等工艺使用。现今,各行各业的制造工艺推层出新,许多工艺气体具有高腐蚀性且气流量不断增加。因此,centrotherm clean solutions也一直不断地提升相应的废气处理技术。

CT-BW具备许多优势。它对沉积、蚀刻、外延等工艺所产生的各种废气(特别是全氟碳化物PFC)具有高处理效率 ,同时能够高效地处理燃烧后的各种固化和气化副产物。

即使在苛刻的工艺条件下,CT-BW仍具有高可靠性并能同时节省运行成本。燃烧头、燃烧腔、水洗腔、废气入口和冷却装置等各个功能装置是可分离的,因此我们可以针对您不同的应用来灵活安装各种功能装置。我们根据您的需求来定制您的系统配置,进而优化该系统的维护间隔及运行时间。

亮点

  • 根据工艺来调整燃烧头性能,借此最小化运行成本
  • 灵活的系统
  • 针对您的工艺要求来定制系统功能
  • 大于98%的运行时间,因此维护成本低
  • 标准化完整安全功能
  • 高质量德国制造
  • 高达99.99%的处理效率(DRE)

可选项

  • 本系统用途广泛,针对各种工艺特色或难以克服的困难提供定制特殊功能
  • 一个控制柜可连接高达4个平行的CT-BW模块
  • 定制的备份(Back-up)配置

应用

  • 沉积工艺
  • 蚀刻工艺
  • 外延工艺

行业

  • 半导体
  • 光伏
  • LED
  • 学府和研究机构

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