CT-PW

等离子-水洗废气处理系统

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CT-PW等离子-水洗废气处理系统适合净化半导体或光伏行业的沉积、蚀刻工艺所产生的工业废气,特别是可以有效降低全氟碳化物(PFC)气体的排放。

CT-PW使用电产生等离子源,故不需要提供燃气。

等离子源、燃烧腔、水洗腔、废气入口和冷却装置等各个功能装置是可分离的,因此我们可以针对您不同的应用来灵活安装各种功能装置。我们根据您的需求来定制您的系统配置,进而优化该系统的维护间隔及运行时间。

亮点

  • 废气处理效率高,特别适合全氟碳化物的处理
  • 不需要燃气供给
  • 维护间隔长和运行时间长
  • 高质量德国制造

可选项

  • 针对各种工艺特色或难以克服的困难提供定制特殊功能

应用

  • 沉积工艺
  • 蚀刻工艺

行业

  • 半导体
  • 光伏
  • LED
  • 学府和研究机构

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服务

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