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CT-PF粉尘过滤器能够捕捉废气中细小的粉尘颗粒，适用于半导体和光伏行业。在使用高温废气处理法来净化沉积工艺中的高流量硅烷时，将产生副产物「二氧化硅」粉尘。 CT-PF非常适合用来捕捉此类粉尘。

首先，含有粉尘的废气将流过CT-PF中的滤芯，而粉尘会沉积在滤芯的表面。随后，系统会自动进行压缩空气吹扫，去除沉积在滤芯表面的粉尘。 CT-PF内部具有多组滤芯，每组滤心将在自动吹扫的过程中被个别清理。在清理过程中，我们将压缩空气所产生的压力保持在最低，同时我们使用整合的变频风机补偿所造成的压力波动。

即便是在系统运行期间，您也可以轻易地回收处理收集到的粉尘。