产品 > 废气处理 > 干式废气处理 > CT-PF
CT-PF粉尘过滤器能够捕捉废气中细小的粉尘颗粒,适用于半导体和光伏行业。在使用高温废气处理法来净化沉积工艺中的高流量硅烷时,将产生副产物「二氧化硅」粉尘。 CT-PF非常适合用来捕捉此类粉尘。
首先,含有粉尘的废气将流过CT-PF中的滤芯,而粉尘会沉积在滤芯的表面。随后,系统会自动进行压缩空气吹扫,去除沉积在滤芯表面的粉尘。 CT-PF内部具有多组滤芯,每组滤心将在自动吹扫的过程中被个别清理。在清理过程中,我们将压缩空气所产生的压力保持在最低,同时我们使用整合的变频风机补偿所造成的压力波动。
即便是在系统运行期间,您也可以轻易地回收处理收集到的粉尘。