CT-PW

等离子-水洗废气处理系统

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CT-PW等离子-水洗废气处理系统适合净化半导体或光伏行业的沉积、蚀刻工艺所产生的工业废气，特别是可以有效降低全氟碳化物(PFC)气体的排放。

CT-PW使用电产生等离子源，故不需要提供燃气。

等离子源、燃烧腔、水洗腔、废气入口和冷却装置等各个功能装置是可分离的，因此我们可以针对您不同的应用来灵活安装各种功能装置。我们根据您的需求来定制您的系统配置，进而优化该系统的维护间隔及运行时间。

等离子-水洗废气处理系统

等离子-水洗废气处理系统 - 主火焰

等离子-水洗废气处理系统 - 流程图

亮点

废气处理效率高，特别适合全氟碳化物的处理
不需要燃气供给
维护间隔长和运行时间长
高质量德国制造

可选项

针对各种工艺特色或难以克服的困难提供定制特殊功能

应用

沉积工艺
蚀刻工艺

行业

半导体
光伏
LED
学府和研究机构

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服务

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维护合同
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