产品 > 废气处理 > 高温废气处理 > CT-PW
CT-PW等离子-水洗废气处理系统适合净化半导体或光伏行业的沉积、蚀刻工艺所产生的工业废气,特别是可以有效降低全氟碳化物(PFC)气体的排放。
CT-PW使用电产生等离子源,故不需要提供燃气。
等离子源、燃烧腔、水洗腔、废气入口和冷却装置等各个功能装置是可分离的,因此我们可以针对您不同的应用来灵活安装各种功能装置。我们根据您的需求来定制您的系统配置,进而优化该系统的维护间隔及运行时间。
联系表格
回到总览
下载
更多资讯
+49 7344 92494-0 +49 7344 92494-199 info@centrotherm-cs.de