PFC废气处理

我们的废气处理系统能够有效的处理造成温室效应的全氟碳化物(PFC)气体。

现今,许多生产工艺使用造成温室效应的气体,比如SF6、CF4 、NF3。 PFC气体一般是用在蚀刻工艺或是清洁生产设备的气室。一旦这些气体排入大气将难以自然降解,并在大气中存在很长一段时间。 CF4在大气环境中的寿命周期是50,000年,这是CO2的6500倍。因此,虽然PFC气体是无毒、高稳定的化学化合物,我们仍需考虑它所造成的温室效应。

PFC气体能够在我们的高温废气处理系统中有效解离,有助于保护我们的环境。同时,我们仍然不断地研发去除PFC气体的低温解决方案,比如,使用催化剂。